公告栏:

半导体 当前位置: 首页 >半导体
KPL-C13u

KPL系列废气处理设备

● 电弧等离子式:局部超高温(最高1万℃),

● 轻易分解PFC等难分解物质或多种类气体! 

「 特征 」

● 大容量,高性能高!

● 减少粉尘闭塞及排放,稳定运行!

● 急速升降温,超短开关机时间!

●  高效节能,待机时进入OFF状态!

● 停电时无能源损耗,安全转换!

● 设备尺寸小,结构简单,容易维护!

●  低运行成本,低维护费!

 「 参数  」

外型尺寸

 950W×1,100D×1,900H(mm)

处理流量(最大)

蚀刻 : 200SLM  

沉积 : 1000SLM

处理温度

火炬头:

处理气体

蚀刻 :CF4, CHF3, HBr, SF6, Cl2

沉积 :SiH4, TEOS, NH3, N2O    ( 工艺气体 )

NF3, C2F6,C3F8   ( 清洁气体 )

※以上规格仅供参考,随客户实际要求变化。