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KT1000FA

KT1000FA & Fi废气处理设备 

特征:

  • ●采用电加热器，安全可靠 ! 
  • ●采用获得专利技术的前段和后段淋水装置!
  • ●仅使用水和电，无需消耗其它资源!
  • ●不使用燃料，节省相关配管费用, 运营成本减少５０％以上！
  • ●无需燃烧用空气，处理总量变少, 设备变小，占用空间变小！ 
  • ●无需担心熄火的问题,二氧化碳零排放！

    • 参数：  

    KT1000FA:

    外型尺寸

     W950× D950 × H1950 (mm) 

    处理流量（最大）

    ～250SLM( 废气中含有NF3时 )

    ～800SLM( 废气中不含NF3时 )

    处理温度

    650～900℃ (Max 950℃)

    处理气体

    工艺气体:  SiH4, H2, NH3, PH3, SiH2Cl2, SiCl4, WF6, TEOS, 

    Si2H6, TDMAT, GeH4, OMCTS, 3MS, 4MS etc. 

    清洁气体:   NF3

    ※以上规格仅供参考，随客户实际要求变化。