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KT1000FA


KT1000FA & Fi废气处理设备
特征:
参数:
KT1000FA:外型尺寸 | W950× D950 × H1950 (mm) |
处理流量(最大) | ~250SLM( 废气中含有NF3时 ) ~800SLM( 废气中不含NF3时 ) |
处理温度 | 650~900℃ (Max 950℃) |
处理气体 | 工艺气体: SiH4, H2, NH3, PH3, SiH2Cl2, SiCl4, WF6, TEOS, Si2H6, TDMAT, GeH4, OMCTS, 3MS, 4MS etc. 清洁气体: NF3 |
※以上规格仅供参考,随客户实际要求变化。