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KT1000Fi

KT1000FA & Fi废气处理设备 

特征:

  • 采用电加热器,安全可靠 ! 
  • 采用获得专利技术的前段和后段淋水装置!
  • 仅使用水和电,无需消耗其它资源!
  • 不使用燃料,节省相关配管费用, 运营成本减少50%以上!
  • 无需燃烧用空气,处理总量变少, 设备变小,占用空间变小! 
  • 无需担心熄火的问题,二氧化碳零排放!
  • 参数:  

    KT1000Fi:

    外型尺寸

    W950(+250)× D950 × H1800 (mm) 

    处理流量(最大)

    ~250SLM( 废气中含有NF3时 )

     ~800SLM( 废气中不含NF3时 )

    处理温度

    00~900℃ (Max 950℃ )

    处理气体

    工艺气体: SiH4, H2, NH3, PH3, SiH2Cl2, SiCl4, WF6, TEOS, 

    Si2H6, TDMAT, GeH4, OMCTS, 3MS, 4MS etc. 

    清洁气体:  NF3

    ※以上规格仅供参考,随客户实际要求变化。