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KT1000系列,采用电热器作为热源的高效废气处理设备
拥有取得专利的前后淋水技术,最适合于处理CVD制程等工艺的废气。

●  前后喷淋装置实现更有效的废气处理

内置式前段淋水装置先期处理水溶性
水分解性气体及粉尘等杂质。
废气在反应炉内热分解后排放的气体及生成的粉尘通过内置式后段淋水装置进行降温和清洗。
该设计属本公司取得专利的独有构造。

●  电热器热氧化分解技术,更高效的处理危险、有害气体

热氧化分解的热源采用电热器方式,更加安全可靠。无需燃料配管,初期导入成本更低。

●  安全紧凑型设计

集异常警报等安全设计,前后喷淋装置,反应炉等所有必需功能于一体的紧凑型设计。

●  运行成本低廉

主要使用电和水,便于管理同时可大幅降低运行成本。

● 更加低碳环保

不使用化石燃料,将二氧化碳排放及过余热能控制在最小范围。

● 十分精巧,可设置于工厂洁净室内 

  • KT1000FA

  • KT1000MOC-W

  • KT1000PVS

  • KT1000MOC-WM

  • KT1000MOC-E

  • KT1000Fi