KT1000FA
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KT1000Fi
KT1000 Fi废气处理设备
特征：
● 采用电加热器，安全可靠 ！
● 采用获得专利技术的前段和后段淋水装置！
● 仅使用水和电，无需消耗其它资源！
● 不使用燃料，节省相关配管费用, 运营成本减少50％以上！
● 无需燃烧用空气，处理总量变少, 设备变小，占用空间变小！
● 无需担心熄火的问题,二氧化碳零排放！
参数：
外型尺寸 | W950× D950 × H1950 (mm) |
处理流量（最大） | ～250SLM( 废气中含有NF3时 ) ～800SLM( 废气中不含NF3时 ) |
处理温度 | 650～900℃ (Max 950℃) |
处理气体 | 工艺气体: SiH4, H2, NH3, PH3, SiH2Cl2, SiCl4, WF6, TEOS, Si2H6, TDMAT, GeH4, OMCTS, 3MS, 4MS etc. 清洁气体: NF3 |
※以上规格仅供参考，随客户实际要求变化。
