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KT1000Fi

KT1000 Fi废气处理设备 


特征:

● 采用电加热器,安全可靠 ! 
● 采用获得专利技术的前段和后段淋水装置!
● 仅使用水和电,无需消耗其它资源!
● 不使用燃料,节省相关配管费用, 运营成本减少50%以上! 
● 无需燃烧用空气,处理总量变少, 设备变小,占用空间变小! 
● 无需担心熄火的问题,二氧化碳零排放!


参数:  

外型尺寸

 W950× D950 × H1950 (mm) 

处理流量(最大)

~250SLM( 废气中含有NF3时 )

~800SLM( 废气中不含NF3时 )

处理温度

650~900℃ (Max 950℃)

处理气体

工艺气体:  SiH4, H2, NH3, PH3, SiH2Cl2, SiCl4, WF6, TEOS, 

Si2H6, TDMAT, GeH4, OMCTS, 3MS, 4MS etc. 

清洁气体:   NF3

※以上规格仅供参考,随客户实际要求变化。