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KT1000PVS

KT1000PV废气处理设备

「特征」

● 对应大风量,高粉尘负荷工艺制程!

● 利用绿色能源电能的无水处理全过程 !

● 不无需燃料配管,初期设置成本低!

● 无需燃料供应,运行成本相对低!

● 充分利用反应热能之设计,能耗低!

● 设备整体管道构造简单,容易维护!

● 二氧化碳零排放,实现超低碳环保!

「参数 」

KT1000PVS

外型尺寸

反应炉单元  W2700× D1600 × H2700 (mm) *只含本体

集尘器单元  W3700× D4000 × H5500 (mm) *含本体,风机,平台等附件

处理流量(最大)

晶硅型工艺:~600SLM( N2 )

 薄膜型工艺:~1000SLM( 仅H2时 ) ,~60SLM( 仅SiH4时 ),

~1400SLM( 仅N2时 )。*需要提供H2信号

处理温度

 650~1100℃ 

处理气体

SiH4, GeH4, H2, NH3, etc. 

※以上规格仅供参考,随客户实际要求变化。